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CVD金剛石即化學(xué)氣相沉積金剛石(也稱作CVD金剛石膜) ，是繼高溫高壓金剛石后,人工合成金剛石領(lǐng)域的又一次具有重大意義的革命。尺寸可以很大，目前能夠批量生產(chǎn)的產(chǎn)品規(guī)格已達(dá)直徑120MM,厚2MM,而且結(jié)晶質(zhì)可以和天然LLA型金剛石媲美。CVD金剛石是在低氣壓條件下，CH4, C3H8等含碳?xì)怏w經(jīng)高溫分解。

金剛石的熱學(xué)性質(zhì)表現(xiàn)于金剛石的熱導(dǎo)率極高，室溫下它的導(dǎo)熱率為1000~2000w/m.k，是銅材料的3~5倍，比目前使用的氮化鋁、Cu-W合金、氧化鋁、氧化鈹?shù)炔牧系臒釋?dǎo)率高很多，僅次于天然lla型和高壓合成的Ib高質(zhì)量單晶。且熱膨脹系數(shù)很小，又是非常好的絕緣材料，因此，CVD金剛石目前在高功率半導(dǎo)體熱管理中具有無可替代的優(yōu)勢，高功率激光二極管和MCMs(多芯片三維組裝技術(shù))是當(dāng)前CVD金剛石膜熱學(xué)應(yīng)用的兩個主要應(yīng)用領(lǐng)域。

用在單點金剛石修整工具，多點金剛石修整工具，金剛石修整滾輪;用于棕剛玉和碳化硅砂輪，金剛石砂輪和CBN陶瓷結(jié)合劑砂輪的修整。