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河南飛孟金剛石股份有限公司

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CVD金剛石的制備

2022-10-11 08:45:32

目前人工合成金剛石單晶的方法主要可分為兩類:高溫高壓法(HTHP),化學氣相沉積法(CVD)。其中HTHP法可獲取的單粒尺寸相對較小,而且高溫高壓法合成的單晶可能含有觸媒等雜質,并且無法有效地進行半導體摻雜。


而化學氣相沉積法(CVD)是一種常見的薄膜材料制備方法,它利用氣相前驅體在特定條件下發(fā)生化學反應,在特定基底上沉積形成所需薄膜材料。在單晶金剛石材料的制備中,通常采用作為甲烷和氫氣作為前驅體,在高溫(約1000℃)、常壓(1大氣壓)或低壓條件下,以單晶金剛石襯底作為基底,以氣相外延的方式生長單晶金剛石,所用的單晶金剛石襯底可以是天然金剛石、HPHT金剛石或CVD金剛石。

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據科學家介紹,培育金剛石的過程就像種糧食,“首先要有一個籽晶片,還需要用到甲烷氣體,甲烷在能量作用下,形成了一個碳的等離子體,這個等離子體就像灰塵一樣,在空氣中慢慢沉積到金剛石的籽晶片,一點一點沉積上去?!?/p>


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